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歐洲開發下一代MEMS應用關鍵技術
歐洲開發下一代MEMS應用關鍵技術

歐洲擬開發下一代MEMS元件應用的關鍵技術和試產生產線,其主要重點在將壓電與磁性薄膜材料製程和現有MEMS矽微加工製程技術整合,以及結合3D IC等先進電子封裝技術。<詳全文>