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科技部工程司110年度「智慧微塵感測器技術研發專案計畫」徵求公告

 一、本部「智慧微塵感測器技術研發專案計畫」自即日起受理申請,請於110年10月15日(星期五)前函送達本部,逾期不予受理。

二、氣體感測器所偵測之氣體包含:(1)AQI氣體,如:CO、NO2、SO2、O3,(2)半導體製程場域(包含製程場域、辦公區、外部環境)之氣體,如:NH3、H2S、CO、CO2、VOC,(3)智慧城市應用(包含社區、公共場所、校園、交通要道、汙水下水道…等),如:CO、CO2、VOC、NO2、SO2、NH3、H2S。

三、氣體感測器種類

(一)半導體式氣體感測器,具備微小化/低功耗功能,以善用我國半導體產業優勢,並具有業界製程量產之可行性。

(二)針對低濃度環境,採用微型光譜儀或光學式氣體感測器…等技術,以獲得較佳的解析度與誤差範圍。包含光譜檢測晶片設計、製造與電路整合功能,可偵測微小氣體濃度變化(如偵測解析度達<1 ppb)。

(三)須將感測器前端(感測器元件技術)、後端(電子電路訊號處理器、通訊技術)與供電、通訊等整合於同一晶片(多功能整合晶片)上,以便進行布建、聯網,衍生更廣泛的產業與社會民生應用。

(四)為了強化氣體感測器後續產業界鏈結,有關感測器之研發規格,請依下列辦理,並於計畫書中敘明下列事項,俾供審查。

1.計畫團隊所研發之氣體感測器特性需為電阻型變化,有效偵測阻值須在於1k ~ 5M ohm變化範圍,且單一感測器尺寸(長/寬/高)需在10 mm x 10 mm x 5 mm之範圍內。感測器元件需具氣體脫附機制以達到重複量測需求,同時於計畫申請時,需提供感測器阻值對應之有效量測氣體濃度變化圖(數據),另外請提供脫附機制所需加熱/光照之功率評估。

2.計畫團隊如申請研發微型光譜儀或光學式氣體感測器,計畫申請書中請說明感測器有效氣體濃度變化、感測器工作電壓與功率等資訊,並載明偵測資訊回饋機制。

四、鼓勵跨領域合作,建議由感測器元件製作專長之學者擔任主持人,並由電路設計、通訊、電源管理、量測數據分析與校正/訊號處理等專長之學者擔任共同主持人,組成跨領域研究團隊。

五、本專案計畫以前瞻研發、產學合作、落實產業應用為目標;並訂有嚴謹的考評與退場機制,以淘汰執行成效不佳的計畫團隊。

(一)計畫內容須具體掌握預計研發目標技術之國內現況與國際比較、與國際標竿之比較(需有明確規格與數據);此外,藉由本計畫之投入,目標技術預期可提升程度。

(二)計畫內容請強化在地優勢,例如研發之氣體感測器適用於高濕度、溫差變化大之環境,並可在國內業界現有製程進行量產。

(三)須邀請國內業界參與共同執行計畫,並請提高合作企業的實質參與。

 六、線上申請時,請選擇「專題類-隨到隨審計畫」,計畫類別請選擇「一般策略專案計畫」,計畫歸屬請選擇「工程司」。研究型別請選擇「個別型計 畫」或「整合型計畫」,學門代碼請選擇「E9836智慧聯網計畫」。

附加檔案

更新日期 : 2021/09/10